微型壓力傳感器適用于各種科研實驗及其精密儀器設備。常用于空氣動力測、流體力學,水工試驗、葉片機、水輪機及水下兵器試驗、液壓動力、空氣動力學、飛行器及發動機、風洞試驗等許多科研領域,那么它的應用前景是什么樣的呢?下面小編就為大家簡單介紹一下。
微型壓力傳感器可以用類似集成電路的設計技術和制造工藝,進行高精度、低成本的大批量生產,從而為消費電子和工業過程控制產品用低廉的成本大量使用壓力傳感器打開方便之門,使壓力控制變得簡單、易用和智能化。
傳統的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形,由機械量彈性變形到電量轉換輸出,因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣,像集成電路那么微小,而且成本也遠遠高于MEMS壓力傳感器。相對于傳統的機械量傳感器,壓力傳感器的尺寸更小,最大的不超過一個厘米,相對于傳統“機械”制造技術,其性價比大幅度提高。
微型壓力傳感器廣泛應用于汽車電子如TPMS、發動機機油壓力傳感器、汽車剎車系統空氣壓力傳感器、汽車發動機進氣歧管壓力傳感器(TMAP)、柴油機共軌壓力傳感器。
消費電子如胎壓計、血壓計、櫥用秤、健康秤,洗衣機、洗碗機、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器,空調壓力傳感器,洗衣機、飲水機、洗碗機、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器。工業電子如數字壓力表、數字流量表、工業配料稱重等。
典型的微型壓力傳感器管芯(die)結構和電原理,左是電原理圖,即由電阻應變片組成的惠斯頓電橋,右為管芯內部結構圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來生產各種壓力傳感器產品。
微型壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個封裝內(MCM),使產品設計師很容易使用這個高度集成的產品設計最終產品。